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            TBA4894D_5軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

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            • TBA4894D_5軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

            TBA4894D_5軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

            TBA4894D_5軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

            產(chǎn)品描述


            5軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
            TBA4894D_TBA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
             
            • ● 采用閉環(huán)伺服控制
            • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程
            • ● 可選配免電池絕對式編碼器
            • ● 可選mapping傳感器類型:對射式、反射式
            • ●可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式

            臂長

            200/260/320/400mm

              額定/最大負(fù)載

             3kg

            搬運(yùn)物

            ≤Φ300mm晶圓

            新時達(dá)眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

            關(guān)鍵詞:

            新時達(dá)眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

            規(guī)格參數(shù)

            新時達(dá)眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人


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