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            AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

            AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人
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            AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

            AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

            產品描述


            4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人
            AHYR2110F_AHY系列半導體機器人
             
            • ● 高可靠真空隔離,從容應對高真空環(huán)境
            • ● 電機直接驅動機器人運動,提升運行可靠性
            • ● 高強度高剛性鋼帶傳動,實現(xiàn)手臂高傳動精度
            • ● 采用閉環(huán)伺服控制,實現(xiàn)高精度位置控制

            臂長

            213.4mm

              額定/最大負載

             ≤1kg

            搬運物

            ≤Φ300mm晶圓

            新時達眾為興AHYR4210F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

            關鍵詞:

            新時達眾為興AHYR4210F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

            規(guī)格參數(shù)

            新時達眾為興AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人