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            SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

            SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人
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            • SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

            SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

            SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

            產(chǎn)品描述


            4軸大氣5片晶圓搬運機器人
            SA25_SA系列半導(dǎo)體機器人
             
            • ● 采用閉環(huán)伺服控制
            • ● 可選配免電池絕對式編碼器
            • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程
            • ● 末端執(zhí)?器類型:下托式

            臂長

            250mm

            額定/最大負(fù)載

            5晶圓

            搬運物

            Φ100~Φ300mm晶圓

            新時達(dá)眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

            關(guān)鍵詞:

            新時達(dá)眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

            規(guī)格參數(shù)

            新時達(dá)眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人


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