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            FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

            FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人
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            • FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

            FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

            FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型雙臂雙手指晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

            產(chǎn)品描述


            5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人
            FBA6432_FBA系列半導體機器人
             
            • 采用閉環(huán)伺服控制
            • 可根據(jù)設備布局定制臂長和Z軸行程
            • 可選配免電池絕對式編碼器
            • 可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、邊緣夾持式

            臂長

            640mm

            額定/最大負載

            4kg

            搬運物

            ≤Φ300mm晶圓

            新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

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            新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

            規(guī)格參數(shù)

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